选择炉膛材料遇到的主要问题是高温环境下的固态共晶现象，也就是说有时候炉膛材料和工件材料在高温下会发生共晶。例如，高于1165℃的温度，碳和镍金属将局部共晶。镍是许多钢(尤其是不锈钢)中常见的金属元素，所以这些钢件在热处理时不能与石墨炉床或夹具接触。为此，石墨炉床的滑轨通常需要陶瓷或钼元件来隔离工件和石墨炉床。在一定条件下，钼还会与某些材料共晶。而且钼能与钢中一些常用的金属合金发生化学反应，但反应温度往往远高于正常的热处理温度范围。受热部件

   根据炉体的形状，热场承受部件通常由一个或多个圆形钢圈组成，材料通常为不锈钢而非普通碳钢。不锈钢虽然增加了成本，但大大增加了耐用性。在大多数真空炉设计中，气体喷嘴都在不锈钢环的周围，因此热场承载部件也起到使气体遍布整个工件的作用。隔热构件通过各种形状的不锈钢构件固定在热场承载构件上。

工件支承炉床

    工件承载件是为支撑热处理工件而设计的，其材料仍然是流行的钼和石墨。通常在炉膛上建造滑轨来装载工件，并通过螺钉将其固定安装在炉膛外部的加固区域。由于材料的高强度，对于相同重量的工件，钼炉床可以建造得比石墨炉床更轻。在长期反复的热环境下，钼轨会发生一定程度的变形。石墨炉膛虽然较重，低温时热容量较大，但不会热变形，良好的导热性减少了一些不利因素。虽然石墨比钼便宜，但由于石墨的脆性，石墨导轨在装载工件时容易掉屑。最近新开发的石墨纤维材料可以防止碎裂的发生，但成本相对较高，甚至高于钼材料。