石墨热场材料具有机械强度高、热收缩率低、耐高温、金属杂质含量低即纯度高等优点。广泛应用于单晶硅直拉炉、硅半导体晶体生长炉、碳化硅半导体晶体生长炉、光纤拉丝炉、蓝宝石晶体生长炉等高温领域。但在第三代半导体碳化硅生长炉中使用石墨热场 material时，部分石墨碳容易受到高温热冲击而渗出，从而影响碳化硅晶体的生长。同时，一些杂质的渗入会影响碳化硅的纯度，导致材料应力开裂。因此石墨热场 material常采用耐高温陶瓷材料处理，防止碳元素和杂质对晶体生长的影响。