在整个加热过程中，真空机组要连续工作，维持炉内真空度，抵消真空系统与钎焊炉各接口处的漏气，释放吸附在炉壁、夹具和焊件上的气体和水蒸汽，挥发金属和氧化物，降低真空度。真空钎焊有两种:高真空钎焊和部分真空钎焊。高真空钎焊非常适合钎焊氧化物难以分解的母材(如镍基高温合金)，而当母材或钎料在钎焊温度和高真空下挥发时，则采用部分真空钎焊。

当必须采取特殊预防措施以确保高纯度时，应在干氢钎焊前采用真空净化。类似地，在抽真空之前使用干燥氢气或惰性气体净化将有助于在高真空钎焊中获得更好的结果。