随着工业的发展，真空炉的应用越来越广泛。真空炉在长期施工过程中，零件会发生故障和损坏，降低机械操作能力。为了保证真空炉的正常运行，延长其使用寿命，边肖对真空炉的维护做如下分析:
首先，根据PLC程序，抽真空:关闭所有真空阀，启动机械泵，正常运转后(约1-2分钟)，打开通向炉体的低真空阀门，即上盘阀，预先对炉体抽真空。
其次，根据PLC程序，抽高真空:打开下盘阀，向扩散泵抽空气。当真空度达到15 Pa以下时，系统会自动启动扩散泵进行预热。通常，在扩散泵启动其功能约45分钟后，可关闭上部圆盘阀。同时可以打开主隔断阀，直到真空度达到1.33×10Pa以上，再打开加热按钮对样品进行加热。
此外，真空炉的维护可以指导设备操作人员在职责范围内，按照检验周期，用正确的检验方法和工具对设备进行日常维护。操作人员每天应根据本维修手册认真填写热处理设备日常维修记录，由班组长检查、复核，维修人员收集、归档。成套设备按技术要求安装完毕后，当无零件且接地良好时，可按下列项目进行调试和验收。