真空热处理炉是真空技术和炉腔内热处理的混合体，用于在接近真空或部分真空的状态下进行热处理。根据真空炉的要求，真空状态可分为低、中、高、超高真空系统。目前，大多数真空热处理炉的工作真空度为1.33 ~ 1.33× 10 ˉ Pa。

1.高真空系统
高真空系统适用于真空度为6.6×10 ~ 1.333×10ˊpa的真空热处理炉，如真空退火炉、真空钎焊炉等。它通常由三级真空泵单元组成。主泵通常是油扩散泵和离子泵，初级泵多为旋转机械泵或滑阀机械泵。  

2.低真空系统
低真空系统适用于真空度为2 ~ 1333 Pa的真空热处理炉，如预抽低真空井式炉。大多数油封旋转机械泵是主泵。

3.中真空系统中的真空系统适用于真空度为3X10~~1.333Pa的真空热处理炉，真空热处理炉广泛采用真空系统，通常由两级真空泵机组组成。主泵多采用旋转式机械泵或滑阀式机械泵，主泵采用机械增压泵或油增压泵。