1.真空炉的维护要在真空或纯氮气状态下，避免平时不用时吸入和吸收水分。

2、真空加热以辐射为主，工件在炉内应保持一定距离。

3.油泵不排油，泵轴旋转方向不对。切换油泵电机的电源连接器。

4.如果油缸或油马达在振动，并且系统中有空气，请排出系统中的空气。

5.在工作真空中淬火时，应使用真空淬火油，其饱和蒸汽压较低。

6.真空炉的活动连接部分都是用O型橡胶圈密封的，这个部分是用水冷却的。

7.在加热过程中，炉内的工件和物料会放气，降低真空度。

8.真空回火炉应具有快速冷却装置。冷却水压力应大于0.2Mpa，流量可调。

9.升温:工件放入后，可预抽至6.6Pa升温。  

10.真空炉液压系统噪音异常，油泵吸油管或滤油器堵塞。清洁吸油管或滤油器。

11.在真空炉中处理钛合金时，不宜用氮气作为冷却气体，因为钛和氮气在高温下反应生成金黄色的氮化钛。

12.真空阀失控，压缩空气压力不足，保证压缩空气压力> 0.5MPa

13.油淬零件表面不光亮，上油前零件温度过高，上油前零件温度不超过900℃。

14.气淬零件表面不光亮，冷却氮气纯度不够，保证氮气纯度(体积分数)在99.99%以上。

15.真空炉液压系统压力不稳定，溢流阀脏污或损坏。清洁或修理溢流阀。

16、液压系统压力低，油缸或油马达有大泄漏，检查并更换油缸或油马达的密封装置。