真空系统工作时，先启动机械泵、维持泵和扩散泵（加热），同时打开前阀和维持泵阀，对扩散泵内进行抽真空。当真空度达到系统某设定值时，罗茨泵启动，同时旁路阀打开，前阀关闭，此时对真空室进行抽低真空当扩散泵加热至规定温度并且真空度高于规定值时，高阀打开，旁路阀关闭，前阀打开。此时对真空室抽高真空，达到工艺要求的真空度以后，方可进行热处理工作。热加工过程完成后，由热交换器对真空室充入高纯氮气进行强制冷却，完成整个工艺过程。