如果在平时的测试中真空炉内有液体，需要一个液体蒸发的过程(在高真空下不需要加热就可以蒸发)，这部分液体可以通过长时间抽真空来蒸发，达到高真空(等稳)。
如果长期达不到目标气压，应考虑系统和罗茨泵。可以直接测量罗茨泵的极限真空(不接其他系统)。如果处于良好状态，将确定系统的密封性能。
(1)真空热处理炉的水冷装置、外壳、炉盖、电加热元件(水冷电极)的单独配置、中间真空隔热门等部件都在真空和加热状态下工作。在这样极其不利的条件下工作，必须保证各部件结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此，应根据不同情况对各部分设置水冷装置，以保证真空热处理炉能正常运行并有足够的使用寿命。
(2)采用低电压大电流:在真空容器中，当真空空位在几托-1×10-1托范围内时，真空容器中的带电导体会在较高的电压下产生辉光放电。在真空热处理炉中，会发生严重的电弧放电，烧坏电热元件和隔热层，造成严重的事故和损失。因此，真空热处理炉电加热元件的工作电压一般不超过80-100伏。同时，在电热元件的结构设计上应采取有效措施，如尽量避开尖锐部分，电极间距不能过窄，防止辉光放电或电弧放电。
(3)绝大部分加热保温材料只能在真空中使用:真空热处理炉的加热保温内衬工作在真空和高温下，因此要求这些材料耐高温、蒸汽压低、散热效果好、导热系数低。对抗氧化性能要求不高。因此，钽、钨、钼和石墨被广泛用作真空热处理炉的加热和隔热材料。这些材料在大气中容易氧化，所以常规热处理炉不能使用这些加热隔热材料。
(4)严格的真空密封:众所周知，金属零件的真空热处理是在封闭的真空炉中进行的。因此，获得并保持炉子的原始漏风率，保证真空炉的工作真空度，对保证零件的真空热处理质量具有重要意义。因此，真空热处理炉的一个关键问题是具有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空性能，在真空热处理炉的结构设计中必须遵循一个基本原则，即炉体应采用气密焊接，同时尽量少开孔或不开孔，采用或避免动密封结构，以尽量减少真空泄漏的机会。安装在真空炉体上的元件和附件，如水冷电极和热电偶引出装置，也必须设计有密封结构。
(5)自动化程度高:真空热处理炉自动化程度高，是因为金属工件加热、冷却等操作需要十几个甚至几十个动作才能完成。这些操作是在真空热处理炉中进行的，操作者无法接近。同时，有些动作，如加热保温后，金属工件的淬火过程需要6个动作，应在15秒内完成。在如此快速的条件下完成很多动作，容易使操作者紧张，造成误操作。所以，只有高度的激励，才能准确及时地按照程序协调动作。