用真空炉工作时，最重要的是发热。在加热过程中，加热速度要快。所选用的发热材料必须保证良好的导热性，不能在高温下产生变形和大量热损失，这样在使用过程中性能要稳定一段时间。
在选择发热元件时，也要根据自己的需要对待产品的化学性质，防止发热元件的材质影响工件质量。所以真空炉要合理选择发热元件。
常用的加热元件是石墨和不锈钢。
石墨发热元件:石墨具有耐高温、热膨胀小、抗热震性强等特点。其机械强度在破碎温度升至2500℃以下时提高，最佳温度在1700℃左右，超过所有氧化物和金属。石墨熔点高，蒸汽压低，真空炉气氛中碳的浓度低，会与残留气体中的氧气和水蒸气反应产生净化作用，大大简化了真空系统，降低了成本。在真空炉的制造过程中，热处理常用的加热元件是石墨，包括其炉膛支架、隔热屏、连接板、连接螺母、通气管等。
不锈钢发热元件:体积小，功率大，热响应快，控温精度高，综合热效率高，应用范围广，适应性强，加热温度高，使用寿命长，可靠性高。机械化程度高，可根据客户要求弯成各种形状，轻便易拆卸。结构简单，用料少，成本低，使用寿命长，热转换率高，节约能源。