真空炉是指用电热元件在接近真空的状态下加热的工业炉。真空炉冷却系统是真空炉的重要组成部分。冷却水通道要保持畅通，否则水温会升高而停止。这是真空炉工作中经常被忽视的问题，无人看管可能会导致真空炉的极大损坏。

真空钼加热器长期使用后会变硬，收缩，脱落，先脱落重叠，再熔断(熔化)。为了使真空炉电热丝在高温下具有必要的强度，防止硬化、塌陷或下垂，首先应设计真空炉电热丝如螺旋电阻丝的结构尺寸，并注意加热元件的弯曲直径、节距和中径。发热体即将被真空炉保温内衬松动，保温内衬上放95陶瓷片，适当留出其膨胀空间。敷设位置要合适，一般100 ~ 200 mm，能牢牢钩住，防止电阻丝躺在上面。此外，应避免炉线之间的直接接触(短路)，一般应放置垫片。

借助生物分解化学处理冷却水的目的是使矿物质保持悬浮状态，减少橡胶管、蛇形管和水套中沉积物的堆积，使水流通畅。这通常由自动装置来完成，该装置可以监控水的导电性，自动补充化学物质，冲洗水路并添加淡水。通过辅助蒸汽过滤系统，这种方法还可以确保控制水的pH值，并防止冷却水系统中过量矿物质的沉积。系统稳定运行后，每月至少进行一次水质检测，防止过度处理或不合理处理。

真空回火炉壳体和换热器材料的试样也要放在水路系统中，每年做一次失重试验，检查处理效果。必须特别注意扩散泵的蛇形冷却器。应该经常检查。如果堵塞，扩散泵将过热并失去功能，并且会进一步导致扩散泵的加热器烧坏，导致昂贵且耗时的修理。蛇形冷却水管堵塞时，断开水路与水源的连接，排干后用压缩空气吹或用稀醋酸溶液冲洗。