真空炉壳一般采用水冷或风冷方式冷却。

真空炉中的压力可以被泵入低于大气压的工业炉中。真空炉电加热，加热工件表面不氧化，不脱碳，变形小，机械性能好。真空炉熔化金属有利于去除杂质，成品针孔少，偏析小，质量好。真空炉适用于熔炼和加热高质量、高纯度的难熔金属，如钨、钼、钽、铌、钛、耐热合金钢以及磁性材料、电工材料、高强度钢、不锈钢、工具钢和模具钢的热处理。真空炉出现在20世纪30年代左右。1927年，美国制造了电工材料真空退火炉。1953年，工业上使用真空自耗电弧炉冶炼海绵钛。20世纪50年代左右，真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年，美国研制出油淬真空炉。

真空炉一般由炉腔、电加热装置、密封炉壳、真空系统、电源系统和温度控制系统组成。炉壳采用碳钢或不锈钢焊接，可拆卸部件的结合面采用真空密封材料密封。为了防止炉壳变形和密封材料受热变质，炉壳一般采用水冷或风冷冷却。炉子位于密封的炉壳内。根据炉子的用途，不同类型的加热元件，如电阻器、感应线圈、电极和电子枪，安装在炉子内部。在冶炼金属的真空炉炉膛内安装坩埚，有的还配有自动浇注装置和装卸物料的机械手。真空系统主要由真空泵、真空阀和真空计组成。

20世纪50年代，无芯感应炉迅速发展。后来出现了电子束炉，利用电子束冲击固体燃料，可以强化表面加热，熔化高熔点材料。锻造加热用的炉是第一台手锻炉，其工作空间是一个凹形的凹槽，凹槽内填充煤，燃烧用的空气从凹槽下部供给，工件埋在煤中加热。这种炉热效率低，加热质量差，只能加热小工件。后来发展成用耐火砖制成的半封闭或全封闭的室式炉。可以用煤、煤气或石油作燃料，也可以用电作热源，工件可以在炉内加热。

为了方便加热大型工件，出现了适合加热钢锭和钢坯的台车式炉，还出现了加热长棒材的井式炉。20世纪20年代以后，出现了各种机械化和自动化的炉型，可以提高炉子生产率和劳动条件。随着燃料资源的开发和燃料转换技术的进步，工业炉的燃料逐渐从块煤、焦炭、煤粉等固体燃料转变为发生炉煤气、城市煤气、天然气、柴油、燃料油等气体和液体燃料，并开发了各种适用于所用燃料的燃烧装置。