用浸过酒精或汽油的丝绸擦拭真空炉，并擦干。

真空淬火炉停止后，炉内真空度应保持在66.5LPa以下

真空炉内有灰尘或不洁时，应用酒精或汽油浸泡过的丝布擦拭干净并晾干。

拆卸炉体上的密封结构和真空系统时，要用酒精或汽油清洗干净，晾干，涂上真空油脂后再组装。

真空淬火炉的外表面经常擦拭并保持清洁。

零件和备件可以在进入炉子之前进行清洁和干燥，以防止湿气和灰尘进入炉子。

当发现传动部件卡阻、限位或失控时，应立即排队，不要强行操作，以免损坏部件。

机械部件应定期加油或更换以进行维护。

真空泵、阀门、测量仪表、热工仪表、电气元件和其他附件应按产品的技术说明书进行维修和保养。

停电时应进行维护。在带电条件下进行维护时，必须确保人员和设备的绝对安全。

真空炉出现在20世纪30年代左右。1927年，美国制造了电工材料真空退火炉。1953年，工业上使用真空自耗电弧炉冶炼海绵钛。20世纪50年代左右，真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年，美国研制出油淬真空炉。

真空炉一般由炉腔、电加热装置、密封炉壳、真空系统、电源系统和温度控制系统组成。炉壳采用碳钢或不锈钢焊接，可拆卸部件的结合面采用真空密封材料密封。为了防止炉壳变形和密封材料受热变质，炉壳一般采用水冷或风冷冷却。炉子位于密封的炉壳内。根据炉子的用途，不同类型的加热元件，如电阻器、感应线圈、电极和电子枪，安装在炉子内部。在冶炼金属的真空炉炉膛内安装坩埚，有的还配有自动浇注装置和装卸物料的机械手。真空系统主要由真空泵、真空阀和真空计组成。

真空回火炉可分为单室、双室和立式等。一般用镍铬带加热，最高温度800℃。一般采用真空回火炉，要求回火零件表面光亮无氧化色。

真空退火炉:

真空退火炉可分为单室、双室和立式。真空退火炉可根据零件材料选择中高温和低温(中高温800℃ ~ 1350℃，低温800℃)。

真空淬火炉:

真空淬火炉可分为真空油淬炉和真空空气淬火炉。

油淬炉适用于模具钢、弹簧钢、不锈钢、轴承钢、高温合金钢等的真空热处理。其主要特点是适用材料广，淬透性强，成本低，淬火油可重复使用。缺点是:变形比较大，工件需要后期清理。真空淬火炉在结构上可分为两室炉和三室炉。