石墨舟除锈前的检查工作:

石墨舟使用近100次时，操作人员需要及时检查涂层情况，出现涂层异常，需要清洗确认。

硅片石墨舟内，正常镀膜颜色为蓝色，晶片内有非蓝色、多种颜色或晶片间色差大，均为异常镀膜，需通过工艺确认异常原因。

在分析了晶舟的涂层情况后，工艺师将确定石墨晶舟是否需要清洗，以及是否需要更换卡点。生产时，要清洗的船艇会交给设备人员进行清洗。

在确定石墨舟需要清洗后，设备、生产和技术将检查石墨舟。做了以上检查后，接下来就是缩放的方法:

1.将石墨舟吊入专用烘箱中，关闭烘箱门并锁好；打开电源开关-风扇开关-加热开关-报警开关；恒温器设定温度为80度。石墨舟在烘箱中干燥6-8小时(经检测，石墨舟与使用前的石墨舟无异，方可取出)。

2.清洗后放入水槽，用水枪冲洗，关闭排水阀，排水，以水没过船为准。冲洗通常需要2个小时。

3.清洗后，将石墨舟从水箱中取出，用气枪吹掉表面明显的水珠。

4.将温度设置为20度。一般炉内石墨舟冷却半小时达到常温即可取出。

5.拧紧石墨舟上的所有螺母，并检查石墨舟的所有陶瓷部件。工艺点的石墨舟需要更换。取出后需要进入维修间的专用架子进行维修。以上是石墨舟表面的处理方法。  

6.打开酸罐的排水阀。废酸排出后，用水枪冲洗酸罐。

7.关闭阀门，将石墨舟放入酸罐中，打开进水阀，向酸罐中放入纯水，直至水淹没石墨舟，关闭水阀。然后在酸罐中加入HF酸(4瓶)，关闭清洗机的窗口，然后开始清洗(在酸中浸泡6小时左右)。清洗时戴防酸碱手套，将石墨舟从酸浴中取出，看是否清洗干净，如果没有及时清洗干净，继续清洗，直到清洗干净。