石墨舟的主要特点:

1.PECVD拖板可以倾斜15度或者内部旋转180度；
2.净化风机噪音小于50dB。
3.确保工作区域的清洁度达到工艺要求的100级。  
4、石墨舟能准确定位装载和装车；
5.采用不锈钢制造，整机结构牢固可靠；
6.采用三台GK系列高效空气过滤器；

石墨舟的工作原理:

空气经高效过滤后，阻尼层均衡压力，使洁净气流垂直单向送入晶圆装载工作区，保证工作区的洁净度满足工艺要求。操作员在干净的环境中将硅晶片装载到石墨舟上。

石墨舟装载室:用于太阳能行业，配合PECVD装载车，装载硅片，制备中效和高效过滤器，保证吹出的空气符合净化要求。