目前单晶硅厂家使用的石墨热场是相当成功的。第一，由于石墨毡是绝缘的，总厚度在100MM以上，保证了径向温度梯度尽可能小的条件。二是由于热场较大，使用的坩埚一般在250MM以上，这样保温罩和盖的直径也较大，具有足够的纵向散热功能，保证了晶体纵向温度梯度足够大的条件，加强了托碗底部的保温效果。保证了熔体中纵向温度梯度相对较大的条件。这种热场结晶速率高，有利于单晶自始至终的无位错生长，无需过度调节。区别在于产量和节能效果不同。但这些指标往往与设备良率、管理水平等综合因素有关。从热场结构看，有的加强径向保温，采用碳碳复合材料，降低能耗。

   众所周知，热场的部件，如加热器、三瓣坩埚、石墨支架、隔热罩等，都是由石墨制成的。在生产过程中，经常会遇到加热装置损坏的现象。那么石墨器件损坏的原因是什么，应该采取什么措施来延长石墨器件的寿命呢？石墨器件损坏的原因主要有两个:人为和变质。只要加强管理，强化员工的防范意识，就可以把损失降到低点。

首先，我们来了解一下石墨的特性。

1.特殊抗热震性。石墨的热膨胀是各向异性的，所以宏观膨胀系数不大。在温度突变的情况下，石墨的体积变化不大。再加上其良好的导热性，石墨的抗热震性好。如上所述，石墨部件应该能够在高温下长时间稳定工作。

2.耐高温。石墨的熔点非常高。在真空中3850度，低压升华，升华温度2200度。与一般材料不同的是，当温度升高时，石墨不仅没有软化，反而强度增加。在2500度时，石墨的抗拉强度加倍。