随着社会经济的发展，许多单晶硅制造商都精于石墨热场的应用，原因有二:

  该领域的组成部分，如加热器，三瓣坩埚，石墨支架和热屏蔽，是由石墨。在生产过程中，经?；嵊龅郊尤壬璞杆鸹档南窒?。那么石墨设备损坏的原因有哪些呢？应该选择什么方法来延长石墨设备的寿命？石墨设备的损坏主要是人为和变质造成的。只要加强管理，强化员工的防范意识，就可以把损失降到低点。这里主要讨论的是退化。我们先来了解一下石墨的相关特性，

1.耐高温。石墨熔点高，真空下3850度，低压下2200度。与一般材料不同的是，当温度升高时，石墨不仅没有软化，反而强度增加，2500度时抗拉强度翻倍

2.特殊抗热震性。石墨的热膨胀是各向异性的，所以微膨胀系数不大。在温度突变的情况下，石墨的体积变化不大。再加上其优异的导热功能，石墨的抗热震性非常优异。如上所述，石墨部件应该能够在高温下长时间稳定工作。

   一般情况下，花瓣坩埚与保温罩、加热器等其他石墨设备相比，材质相同，生产厂家相同，工作环境相同。为什么使用寿命比保温罩和取暖器短很多？三瓣坩埚开裂的主要原因来自应时坩埚。1.由于熔融硅的密度高于固体硅的密度，在冷却过程中，坩埚的底部材料会使应时坩埚破裂，而应时坩埚则附着在三瓣坩埚上。当应时坩埚劈裂产生的应力大于三瓣坩埚受到的应力时，三瓣坩埚就会开裂，这也是坩埚多余的底部材料会使三瓣坩埚破裂的原因。2.如果加热时间过长，应时坩埚质量不够，原料pH值不符合要求，都会导致漏硅、渗硅。熔融硅进入三瓣坩埚之间的缝隙冷却下来后，会损坏三瓣坩埚，二是使三瓣坩埚相互粘连，在清炉时可能分别导致开裂。3.在加热过程中，只有三瓣坩埚的热源来自两个方面，一是加热器的辐射，二是来自应时坩埚的传导，导致三瓣坩埚受热不均匀，受热时在某些方向膨胀，在另一些方向收缩，进而导致三瓣坩埚开裂。

正面和石墨毡保温效果好，厚度达到100mm，有效保证了径向梯度温度可能较小的情况。

二、热量长的原因是石墨坩埚厚度达到250mm，可以扎样品，所以上中下保温筒的口径会足够大，有足够的纵向散热功能。众所周知，石墨坩埚操作方法存在的问题会导致石墨坩埚操作时间的减少，进而增加生产厂家自身的资本。有了制造石墨坩埚和热场工件的历史，再来说说石墨热场生产中常见的问题，以及我们应该如何处理。