加热系统由加热电源和加热元件组成。加热电源采用磁调压器，直流励磁电源实现无触点无负载平滑无级调压。直流励磁电源由功率调节器控制，功率调节器利用当前温度值与温度控制器通过热电偶检测的设定值之差，通过PID运算输出4 ~ 20 mA的DC信号，控制磁调压器中的磁饱和电压，进而根据温度控制器设定的温度控制曲线实现加热电流和温度的自动调节。

在设计的集散控制系统中，充分利用计算机强大的数据运算和处理功能，及时监控系统的工作状态，特别是引入智能PID参数自动整定，进一步提高真空炉系统的控制指标。  

真空炉系统主要由真空系统、加热系统和相关控制设备组成。

真空系统由机械泵、扩散泵、主阀、旁通阀和高真空挡板阀组成。机械泵是一种粗真空装置，其动力源是一台三相交流电机。泵可以通过交流接触器的吸合和断开来启动和停止。高真空油扩散泵是一种高真空装置。在前置机械泵、扩散泵油和电炉加热的帮助下，能完成高真空度的抽气工作。交流接触器的接通和断开控制电加热炉的通断，进而控制扩散泵的动作和停止。

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